全自動RCA清洗機
施密科是集研發(fā),生產,銷售為一體的濕法制程設備制造商
| 項目 | 數據 |
| 適應工件 | 6~12寸晶圓片清洗 |
| 批量產能 | 25/50pcs/批 |
| 工藝流程 | LOAD→SPM→QDR→DHF→QDR→SC1→QDR→SC2→QDR→DRYING→UNLOAD |
| 主要材料 | 金屬骨架+PVC/PPW殼板,槽體采用石英/PPN/PTFE材質 |
| 運送方式 | 機械臂傳送 |
| 節(jié)拍時間 | 依工藝5~10min可調 |
| 工藝效果 | 顆粒去除率達>99% |
| 其他說明 | 此設備可根據客戶要求定制手動/半自動 |